Ciencia e Ingeniería de Vacío |  |
Dr. Stephen Muhl / Dr. Carlos Ramos IIM UNAM, México |
Temario:
- Conceptos básicos de vacío
- Unidades, terminología y estados.
- Leyes de gases
- Teoría cinética, Camino libre de átomos conducción y tipos de flujo de los gases.
- Niveles de vacío (bajo, alto y ultra alto vacío) y calidad de vacío
- Tipos de bombas e intervalos de operación.
- Esquemas básicos de sistemas de vacío.
- Absorción, difusión, permeación y atrapamiento de gases.
- Fugas. RGA y detección de fugas
- Bombas de vacío más comunes, sus fundamentos de operación y limitaciones (Carlos)
- Equipos de transferencia de gas
- Bomba Venturi.
- Bomba rotatoria.
- Bomba impulsora.
- Bombas mecánicas, Scroll
- Bomba de difusión.
- Bomba turbomolecular.
- Sublimación.
- Bomba iónica y criogénica.
- Trampas frías.
- Como se puede medir la presión de gas, fundamentos de operación de los medidores, limitaciones y variantes
- Medidor tipo Bourdon.
- Medidor de McLeod.
- Sensores de diafragma y Baratron.
- Sensores de termo-conductividad.
- Sensor de ionización.
- Control y medición del flujo de gases
- Rotámetro.
- MFC (Medidores de Flujo Masico).
- Cálculos básicos.
- Tanques de gases.
- Dewars
- Partes comerciales, materiales recomendables y conexiones para sistemas de vacío
- Limitaciones de materiales, presión de vapor, taza de desgasificación, estabilidad térmica, reactividad, fuerza y tenacidad.
- Conexiones para vacío y tubería de gases: KF, ASA, ISO, CF, Swagelok, VCR, VCO, etc.
- El uso de soldadura, pegamentos, O’rings, anillos. Placas de teflón y hule.
- Tipos de válvulas.
- Atravesadoras de movimiento, óptica, eléctrica, liquido, etc.
- Instrumentos para fabricar recubrimientos y películas delgadas.
- Resumen y conclusiones